FPD曝光设备

• 兼顾高生产率与高分辨率，佳能发售FPD曝光设备新品“MPAsp-H1003H”采用第8代玻璃基板，能够实现1.5μm的分辨率和±0.35μm的套合精度

  

  佳能将于2022年7月下旬发售FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品“MPAsp-H1003H”。作为支持第8代玻璃基板尺寸*1的FPD曝光设备新产品，“MPAsp-H1003H”拥有1.5μm*2（L/S*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。

  2022-07-21 13:57